二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa #293635852 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反應器是一種高級蝕刻工具，專門設計用於制造集成電路（IC）和其他高性能微電子元件。AMAT Centura DPS II是一種高通量蝕刻工具，利用低能量磷光塗層和高度精確的光束控制相結合，在蝕刻過程中實現精確的幾何形狀和層厚。該工具可在高達120開爾文的溫度下運行，並且由於其快速、低溫的蝕刻工藝和深層沈積能力，與其他傳統蝕刻工具相比，具有蝕刻工藝的靈活性優勢。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II反應堆具有多種工藝創新,包括雙電荷載流子啟用,以及多電流、多氣體和多速率能力。這使得工具能夠為多個蝕刻過程指定單獨的步驟，並以極高的精度實現特定的層厚度。CENTURA DPS+II還提供了先進的過程控制和監控，允許用戶在監控產品質量的同時調整漂移時間和脈沖電壓等參數。刀具的設計也將汙染和晶圓破損降至最低。它包括一個機器人晶片裝載設備和一個自動氣體混合系統，除了一個可調光束聚焦單元，以確保高效和準確的處理與最小的停機時間。Centura DPS II還具有用於維持最佳晶圓溫度的集成冷卻機，以及用於去除腐蝕性氣體的專用排氣工具。為了進行廣泛的蝕刻工藝，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II利用了多種磷塗層陶瓷、不銹鋼和鉬矽基板。它可以預先編程，在多種蝕刻工藝之間切換，如幹法和濕法蝕刻、離子束蝕刻、深x蝕刻等等。在其廣泛的使用壽命中,APPLIED MATERIALS Centura DPS II已成為高科技行業中一個非常可靠和高效的蝕刻工具。它具有精密的層厚、高通量的精密蝕刻能力，是業界備受追捧的蝕刻工具。低溫蝕刻工藝加上該工具先進的工藝監控資產，使得AMAT CENTURA DPS+II成為生產高性能IC和其他微電子結構的寶貴工具。