二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #293607532 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種多頻快速熱處理（RTP）反應器，專為高性能、高度集成的半導體晶圓應用而設計。該設備為要求最苛刻的應用程序提供卓越的溫度均勻性和可靠性。它具有高溫反應室、水平氣流輸送系統和動態溫度控制單元，以確保最佳處理溫度。AMAT Centura DPS II是一種用途廣泛的工具，用於廣泛的應用，包括沈積、氧化、擴散、退火和外延。應用材料CENTURA DPS+II由高溫反應室和動態溫度控制機兩部分組成。反應室可達到100 °C至1100 °C的溫度，設計用於高溫晶圓反應。此外，反應室采用隔離導熱工具，以確保室內溫度的均勻性。DPS II還具有水平氣流輸送資產,通過反應室提供高流量（最多200 spm）的氣體顆粒,以確保整個過程的反應條件一致。動態溫度控制模型允許精確的溫度控制，以確保最佳的過程結果。每個晶片的溫度可以實時調整，以確保結果一致。此外，該設備還配備了一種高頻火花，可進行次秒溫度處理。這對於復雜的過程很重要,並將由於處理時間延長而產生不希望的結果的可能性降至最低。Centura DPS II非常適合要求絕對控制溫度、均勻性和速度的應用。該系統非常適合各種工藝，包括沈積、氧化、擴散、退火和外延，是各種先進半導體工藝的理想解決方案。AMAT CENTURA DPS+II是針對高性能、集成半導體應用的高度可靠、可定制且經濟高效的解決方案。