二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #293660388 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一個單一的晶片處理系統,提供市場上最高的吞吐量和可重復性,旨在減少工藝時間,提高產量,提高產量,減少各種半導體應用的復雜性。該技術能夠進一步擴展半導體,並在先進的晶體管結構方面取得進步,同時提供卓越的器件性能。AMAT Centura DPS II具有55mm晶圓足跡,最大晶圓直徑155mm,最大晶圓厚度4.26mm。利用先進的應用材料CENTURA DPS+II晶片處理和自適應控制方案,可以實現晶片級工藝的卓越重復性。APPLIED MATERIALS Centura DPS II反應器適用於超快年鑒、低溫年鑒、駛入、低溫摻雜劑等高速工藝,是先進設備開發的理想工具。它還支持SiC和GaN等高靈敏度材料,允許用戶在符合各自要求的溫度和功率信封中使用這些材料。Centura DPS II上專用的高效等離子體源提供了整個腔室設定點和晶圓溫度範圍內最高的等離子體、溫度和過程均勻性。這允許用戶利用高等離子體密度、高溫均勻性以及在廣泛的晶圓尺寸範圍內處理一致性。等離子體通過氧化物屏蔽孔施加,以確保無死時操作。獨立的多模射頻發電機提供了對大氣壓力和等離子體功率的強大控制。AMAT CENTURA DPS+II中的綜合原位傳感器包使用戶能夠實時監控其腔室的溫度、壓力和氣體狀況,這有助於在最小中斷的情況下達到最高產量。反應堆的綜合先進控制進一步提高了運行的可重復性和可靠性。此外,可編程脈沖控制功能最大限度地提高了操作速度,最小化了停留時間。總體而言,CENTURA DPS+II無功系統提供了當今半導體市場上最高的吞吐量和可重復性。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II憑借其先進的晶圓處理、優異的等離子體源和全面的原位傳感器封裝,讓用戶充分利用其半導體開發和制造能力。
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