二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116829 待售
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ID: 9116829
Metal system
Load lock: wide
Chamber A, B: DPS+ metal
Chamber C, D : ASP+
Chamber E: fast cool down
Chamber F: orient
Robot: VHP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反應堆是利用快速熱處理的先進半導體生產設備設備,允許顯著提高生產吞吐量。這種最先進的工具為復合薄膜的外延和沈積提供了業界領先的晶圓處理能力。它可以處理直徑最大為8英寸(200毫米)的單晶片和批處理配置,而且每個作業最多可兼容四個晶片載波。該工具提供了許多標準選項和自定義升級選項,確保可以根據特定應用程序的要求對其進行定制。AMAT Centura DPS II使用專有的高級流程流算法來幫助確保最高級別的性能和可靠性。它還具有先進的石英增強沈積系統,以提高工藝的均勻性和層性能。這個單元可以很容易地為其他沈積應用定制。該工具還提供了一種創新的高速晶圓轉換機,使作業運行能夠快速高效地完成。應用材料CENTURA DPS+II的關鍵優點之一是反應時間快。這是由於先進的紅外加熱器,它提供精確的控制,允許精確和可重復的溫度,而不需要復雜的溫度穩定過程。該工具還具有精密的晶片夾緊工具,能夠在不損壞有價值的晶片的情況下對層進行精確的對準和沈積。這大大縮短了整個過程的時間,並且不需要昂貴的晶圓修復。CENTURA DPS+II的另一個關鍵特點是全面設計的環保資產。該模型采用多種技術,包括熱管理和沖洗,以盡量減少汙染並保持關鍵部件幹燥。這有助於確保針對多種類型的晶片和薄膜進行全面優化的生產環境。該設備還具有互鎖支撐結構,提供最高水平的制造穩定性和可靠性。此外,還提供了廣泛的清潔系統,以幫助消除雜散顆粒並降低制造過程中出現缺陷的風險。所有這些功能結合在一起,使APPLIED MATERIALS Centura DPS II成為市場上最先進的生產級反應堆系統之一,可提供高水平的可靠性、可重復性、效率和成本節約。適用於大型生產應用,能夠滿足現代半導體生產最嚴格的要求。
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