二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116830 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反應堆是一種半導體制造工具,用於各種先進的加工操作。該設備為高需求和復雜的工藝步驟提供了一個強大的高性能生產平臺。反應堆的主要功能部件包括工藝室、高壓渦輪分子泵、低壓離子泵、防凍陷阱、控制平臺等。該工藝室設計用於多晶圓加工的高通量.它是一種絕緣不銹鋼,具有集成的蝕刻和沈積部件。較高壓力的渦輪分子泵被用來維持腔室內穩定而緊密的真空,使得多晶圓處理成為可能。它提供了一個高抽水速度與卓越的服務和快速的原位再生。低壓離子泵用於在處理過程中支撐光學元件。它提供了增強的一致性和過程穩定性。冷凍保護陷阱的設計目的是保護系統部件免受冷凍冷凝物堆積造成的腐蝕。控制平臺是一個直觀的用戶友好界面,有助於有效的流程性能。它提供了對高速射頻偏置和脈沖功率的綜合控制,以最小的功耗實現卓越的質量沈積。平臺還包括集成式壓力控制單元、溫控機、綜合安全聯鎖工具。總而言之,AMAT Centura DPS II反應堆為半導體制造提供了一個強大而高性能的解決方案。其集成的組件和控制平臺使其成為復雜且要求苛刻的過程步驟的理想選擇。
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