二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9120412 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反應堆由AMAT公司設計，是一種先進的晶圓加工設備，旨在實現半導體加工的最高生產力。該系統的最大實際吞吐量為每小時115個晶圓，是業界最快的反應堆之一。該裝置由一個三區源提供動力，該三區源將可疏散的鐘形罐中的顆粒汽化，並將其引導進入反應堆，從而減少顆粒殘留，提高性能。它還包括兩個可旋轉基板支架，兩個獨立控制的溫度區和兩個遠程過程控制區。AMAT Centura DPS II反應堆還通過主動溫度和壓力控制提供了良好的工藝環境控制。主動溫度和壓力控制使反應堆能夠保持對過程溫度、壓力和大氣的嚴格控制，從而產生盡可能高的產物產量。該機器還包括高級數據日誌記錄和過程配方執行,可最大限度地控制刀具性能和產品產量。數據日誌記錄允許操作人員監視關鍵流程參數的運行時值,從而提高流程控制和產品產量。隨著工藝配方的執行，APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II在運行具有多個多晶矽和金屬層的復雜化學體系時提供了高度的精確度和重復性。AMAT CENTURA DPS+II是任何需要高吞吐量、快速處理時間和極高精度的半導體處理環境的完美工具。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II憑借其先進的特性和對工藝環境的控制,能夠實現最復雜化學體系的最高產量和最低缺陷率。