二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9188294 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種先進的熱高密度等離子體反應器。它旨在為一系列需要高能電子束的等離子體沈積過程提供高沈積速率，如外延、CVD、ALD和ALOx塗層等。AMAT Centura DPS II提供了最先進的物理和化學氣相沈積能力。反應堆裝有先進的多柵極電子源，允許均勻和非均勻分布，底物壓力範圍大。反應堆還設有一個獨立的氣流控制設備，最多支持七條單獨的測試氣線。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II配備了全自動腔室清洗過程,可快速高效地啟動、關閉和減少停機時間。高效的表面處理過程包括自動氣流監測器，以及多區域壓力傳感器。這允許與過程氣體的沈積過程發生如氧、一氧化二氮、一氧化碳、氯和三氯矽烷。反應堆的控制和數據采集系統旨在提供過程監測和數據記錄功能。此外，反應堆允許定制配方，以確保最佳熱控制、均勻沈積和減少再沈積。該裝置能夠在柔性和剛性基板上提供最佳均勻性和沈積。這確保了在基板上各個區域的均勻沈積，並確保了最佳產量。AMAT CENTURA DPS+II反應堆裝有惰性氣體背面排氣特性，最大限度地降低了底物汙染和降解的風險。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA DPS+II可用於廣泛的應用,例如在半導體工業中創建薄膜以封裝微電子器件。多區沈積機和廣泛的沈積氣體使研究人員能夠取得顯著的制造生產率和過程魯棒性。該工具還配備了確保反應堆安全運行和避免危險過程的安全功能。