二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9223550 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種先進的化學擴散反應器,可用於廣泛的半導體制造過程。這種多功能反應堆提供了一種高效、可編程的方式來實現高質量的結果。它設計用於100毫米、110毫米、200毫米和300毫米晶圓尺寸的基板。AMAT Centura DPS II具有先進的氣體輸送設備,具有用於化學輸送的雙線性稀釋區。該系統可以對幾種氣體混合物提供高精度、低濃度的控制，從而實現精確的過程控制。有了這個先進的單元，用戶可以輕松調整各種工藝化學物質的濃度水平，以最大限度地提高工藝產量並確保生產批次的一致性。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II具有受熱/冷卻浴的嚴密控制的熱環境,可實現最佳的溫度控制和工藝化學的均勻性。其溫度控制機設計用於管理高達30°C/秒的瞬時溫度變化率，而不影響過程穩定性或時間控制。此外，該工具還提供了先進的水冷疏散室，用於晶圓上的最小應力（溫度/壓力）。Centura DPS II還具有強大的集成基板加熱資產,該資產采用閉環控制模型進行設計,以實現精確穩定的溫度控制。其加熱設備的工作溫度可達900 °C,溫度穩定性額定值± 1°C。這種先進的加熱系統可確保整個晶片表面的晶片溫度均勻,從而獲得一致的工藝結果。AMAT CENTURA DPS+II也有一個四區泡泡裝置，用於冷卻和回火過程化學。這臺機器通過提供對整個氣泡室的精確溫度控制，為廣泛的工藝化學控制提供了方便和穩定的溫度控制。最後,APPLIED MATERIALS Centura DPS II附帶嵌入式高級診斷和過程優化工具。該工具提供對過程數據的實時監測和檢查，以確保擴散過程保持在最佳水平。此外,它還提供了流程優化參數,使用戶能夠從其流程中獲得最佳性能。