二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9243879 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是為研究和生產應用而設計的功能強大且先進的氧化加工設備。該反應器專為保形異質結過程而設計，提供卓越的工藝控制。其設計允許薄膜在多種應用中均勻沈積，包括高k電介質、金屬、聚合物等的沈積。AMAT Centura DPS II的腔室由低熱質量的不銹鋼制成，導致基板表面的熱擴散最小。該系統配有外熱屏蔽，旨在最大限度地減少粒子和散射損失，其內部有高度拋光的光潔度，以減少高溫下的粒子發射。該單元還具有兩個負載鎖,可加快加載和卸載周期。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II也有一臺先進的端點檢測機，不需要在運行過程中進行配方調整和監控。該工具具有強大的輻射圓頂和開槽感應源，具有很高的加熱性能。這樣可以快速加熱到1000 °C,並確保整個過程的溫度均勻。無聲運行和無維護渦輪泵保證了在處理過程中對氣流的精確控制和精確的壓力水平。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II電源控制器包括用於設置和監視處理參數的前面板接口（FPI）。該控制器可以輕松快速地調整參數,同時增強過程的均勻性和可重復性。自適應伽瑪控制算法使等離子體參數的精確控制以及快速測量和反饋能夠在沈積過程中維持所需的基體條件。AMAT CENTURA DPS+II是研究和生產應用的理想選擇。憑借其先進的設計和功能,該資產提供了卓越的過程控制、改進的一致性以及更快的加載和卸載周期。此外，其強大的加熱和氣體控制能力以及先進的端點檢測，使其成為現代氧化過程的寶貴工具。