二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9260903 待售

ID: 9260903
晶圓大小: 12"
Poly etchers, 12" (4) Chambers.
AMAT(應用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種核心沈積設備,用於各行業的薄膜沈積,包括電子和傳感器制造。DPS II型芯加工裝置被設計為一種高度適應性和高效的沈積工具,用於各種基材,如矽、氧化物、氮化物和金屬晶片。它是一個獨立的、超高真空(UHV)的沈積反應器,具有集成的電饋通和氣體輸送。特高壓系統為各種類型的礦床提供可重復的質量,目標尺寸範圍很廣。該裝置配有精確定位臺,以及先進的機器人送貨機,用於精確、精確的晶圓送貨。內部工藝室包含雙磁控管陰極,以保證膜的均勻沈積。雙磁控管網促進材料的均勻分布,而多級檢測則確保工藝符合所需的規格和參數。DPS II具有動態操作控制工具,可提供手動和自動過程控制。這一資產允許用戶實時有效地監控和調整操作參數,如溫度、功率、壓力、氣流和反應時間。該模型還具有自適應技術,可自動響應過程參數發生的變化。DPS II還采用了高分辨率光學顯微鏡,能夠目視檢查沈積過程。這種顯微鏡既可以捕捉粒子,也可以捕捉高分辨率圖像的沈積物質的運動。顯微鏡還包括一個反光鏡,它在觀察過程中揭示沈積物的任何缺陷。DPS II具有廣泛的工藝專用室,包括離子束濺射、原子層沈積、等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)和電子束蒸發。這種綜合性的板式堆叠設備增加了沈積系統的多功能性,允許對多種類型的基板進行批量處理。總體而言,AMAT Centura DPS II是一種高質量、靈活的沈積工具,適用於各種應用,包括制造電子設備、傳感器和光電設備。該裝置的集成特性和優越的沈積穩定性使其成為精密電子和傳感器產品研發和生產的理想解決方案。
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