二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9293611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種先進的等離子體增強型化學氣相沈積（E-CVD）反應器，用於半導體和微電子工業。DPS II能夠處理直徑不超過8英寸的晶片上的復雜薄膜堆棧。該反應器采用堅固的硬件設計，具有優異的功率和沈積均勻性，非常適合低速和高速率沈積過程。DPS II提供了先進的功能,如石英頂襯、獲得專利的側壁襯裏（可實現快速清潔周期和長時間運行）,以及密封室（可幫助最大程度地減少汙染並確保可重現效果）。反應堆還包括可編程氣體分期和增強實時可調性的最終過程控制。其自動端點檢測為多層薄膜沈積等過程提供精確控制。AMAT Centura DPS II具有廣泛的工藝能力，從用於PMOS設備的低溫氮化物沈積到用於內存和邏輯VLSI技術的NMOS設備的高溫CVD氧化物。該系統還具有在不使用輔助助劑的情況下沈積保形膜的靈活性，適用於優質屏障和保護膜的沈積。作為AMAT Centura平臺的一部分,DPS II還增強了安全性和環境特性。它配備了自動安全區系統，根據氣體成分、壓力和溫度感知潛在泄漏風險，必要時自動關閉系統。該反應堆還采用模塊化設計，便於升級和維護，高效的氣體循環和自動排氣，從而無需手動清潔或排出燃燒室。總之，應用材料CENTURA DPS+II是一種先進、可靠的E-CVD反應器，具有良好的功率和沈積均勻性，具有可編程氣體分期。其先進的硬件和安全特性使其成為各種沈積過程的理想選擇。