二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377212 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種先進的、具有工藝能力的反應堆,旨在滿足半導體、應變工程、納米技術、光學和能源加工領域的許多應用需求。反應堆能夠從低到高的溫度和壓力運行,並在各種復雜的大氣中運行,有許多材料和化學物質。多模處理與先進自動化相結合,使反應堆能夠以精確和可重復性執行復雜的處理任務。反應堆有一個控制設備,可以精確控制工藝參數,允許廣泛的工藝定制和優化。控制系統具有自動放置晶片以確保晶片定位正確、能夠設置四種特定的沈積配方等特點,可用於可重復沈積應用。反應堆運行通過對機組硬件、溫度等重要參數的硬件監控實時監控。反應器室是溫度控制的,可以支持各種各樣的加載硬件,包括散裝晶片、基板和盒式裝載。腔室設計使循環時間較快,溫度分布均勻,從而產生均勻的處理結果。兩級直接加熱和間接冷卻減少了汙染,提高了工藝的可重復性。該室還設有一個設計在安全機器關閉操作,如果腔室失去壓力或壓力過低。AMAT Centura DPS II還具有可選的附加硬件,例如用於監測薄膜厚度的不透明度監視器,或用於化學反應的臭氧發生器產生臭氧的形式。反應堆還有一個可選端口,允許在沈積過程中引入惰性氣體。該反應堆設計為在高真空條件下運行,同時允許工藝參數的可變性和應用配方的靈活性,從而為加工創造了最佳條件。應用材料CENTURA DPS+II能夠在各種溫度和氣體中進行精確和可重復的處理。它保證高質量的結果將超過半導體、應變工程、納米技術、光學和能源加工應用的標準。該反應堆的設計便於使用和可靠性,具有先進的自動化和控制能力,以提供統一和高效的結果,並盡量減少維護和保養。
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