二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377213 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一種先進的反應堆設備,設計用於處理半導體制造中的復雜過程。這個系統提供了一個單一的平臺,可以適應MEMS、薄膜和MEMS中的各種應用。它采用通用腔室設計,可適應等離子體蝕刻、熱退火、封裝、沈積、氧化等多種工藝類型。該機組采用多氣源、超低壓操作範圍和高溫制造工藝供電。AMAT Centura DPS II反應堆包括具有機器監控、配方控制和遠程訪問功能的觸摸屏HMI。它還配備了高壓脈沖射頻等離子體源,能夠在非常低的壓力下進行處理。它提供了對過程參數和可變多通道氣體輸送的精確控制,允許嚴格控制過程參數和電感控制的廣泛變化。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II還包括用於過程監視的傳感器技術和用於重復過程重復性的高級硬件。該工具還具有一個節省時間的功能,允許最多三個氣源被模擬改變,以減少循環時間。整個資產為精確、可重復、可靠的操作而設計,與領先的真空系統兼容。Centura DPS II反應堆為半導體行業的先進研究需求提供了可靠高效的解決方案。它提供高質量的過程結果,同時保持過程的可重復性和產量。其特點使過程控制高效,產量提高,產品質量更高。該模型是半導體元件的高級研究、原型設計和制造的寶貴工具。
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