二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #293813384 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是一種高效可靠的工具,專為精確沈積多晶膜而設計。這種工具結合了一種超細氧化膜沈積設備的性能和應用Centura平臺的靈活性,無論沈積的沈積參數或薄膜如何,都能提供精確和可重復的結果。AMAT Centura DPS Poly Reactor是用於微電子應用的薄膜沈積的精確可靠的工具。該平臺以AMAT Centura 500 Cx平臺為基礎,針對精確膜沈積進行了優化。該平臺能夠提供等離子體處理和可變薄膜沈積的最佳組合,為每次沈積運行提供精確和可重復的結果。它包括一個高壓輝光放電源提供精確和可重復的離子化聚合物沈積,以及先進的機器人自動化等離子體處理,可變薄膜沈積和均勻化。除了高壓輝光放電源外,該平臺還提供了沈積前診斷系統和溫度剖面控制,使得用實時溫度剖面控制單元監控基板表面成為可能。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY Reactor是一種高體積的探測器和反應堆機器,允許精確和可重復的薄膜增長速度。Centura平臺允許用戶立即調整壓力和工藝條件,使他們能夠快速、準確地實現所需的結果。該平臺還采用了先進的腔室設計,最大限度地提高了處理效率,提供了多個射頻電源,優化了腔室幾何形狀和脈沖等離子體註入。該工具還可以精確控制沈積溫度和壓力,從而無需手動調整。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY Reactor是一種多晶膜沈積的通用、高度可靠的工具。它是專門為多晶膜的沈積而設計的,用於微電子工業的各種用途。該資產高度可靠,無論沈積參數或沈積膜如何,都能提供精確和可重復的結果。該平臺能夠在短時間內提供高質量的多晶膜,其先進的腔室設計確保了致密化的高效加工和均勻性。
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