二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9214670 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly是一個功能齊全的工藝室，設計用於生產先進的聚合物材料。該反應堆可提供最大的制造靈活性和正常運行時間,並設計用於最大程度地控制過程、提高生產率和提高產量。該設備的亮點之一是多模式基板加載。此功能使單個centura腔室能夠支持多種晶圓尺寸和螺紋模式,從而減少了在盒式磁帶之間手動切換的需要。它還配備了聚合物閥門，能夠在幾分鐘內切換晶圓的幾何形狀和工藝流程。Centura反應堆采用增強晶圓溫度均勻性設備建造。這個系統包括三維熱映射和集成加熱器和傳感器。該裝置可確保反應堆在整個晶片表面提供極均勻的晶片溫度。結果，拒絕量最小化，收益率最大化。AMAT Centura DPS Poly還配備了層流氣體管理機。該工具使設備能夠為高級流程實現最高質量的氣體輸送。該資產還減少了60%以上的氣體消耗,降低了成本並提高了設備的效率。此外，該裝置經過出廠校準。這消除了大量手動校準的需要,減少了屈服時間,並消除了人為錯誤和維護。該氣室還包括一個獲得專利的氣體輸送模型，幫助該氣室管理多個氣流和過程流。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY專為易於使用和卓越的過程控制和性能而設計。該專利反應器具有多模式基板載荷、增強晶圓溫度均勻性、工廠校準等特點，是先進高分子材料的理想裝置。