二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9226614 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly是一種為多晶矽和其他材料的沈積而開發的幹修補垂直熱化學氣相沈積反應器。Centura DPS™ Poly平臺將垂直和水平處理功能與活塞驅動的旋轉時間控制相結合,提供垂直熱沈積過程的納秒Control™。納秒Control™設備能夠在1°C的範圍內控制底物溫度，確保高質量多晶矽膜的沈積。Centura DPS™ Poly平臺的垂直工藝幾何形狀還為手動清潔和維護提供了出色的訪問權限。多功能的Centura DPS™ Poly平臺占地面積小,公用事業消耗低,非常適合半導體制造設施。Centura DPS™ Poly平臺還能夠與高級流程自動化系統一起運行,從而將其集成到自動化工具流中。該平臺采用獨特的雙源單元，提供反應物氣體均勻分布，跨基板和晶圓尺寸均勻性極好，從而在高基板吞吐率下產生高質量薄膜。Centura DPS™ Poly經過徹底測試,以確保所有組件和系統都能正常運行並符合業界的高標準。每臺機器都經過嚴格的校準和驗證過程，以確保最佳的處理能力。該工具可配備INOVA Module™,以提供更多的控制和監控功能,從而減少了模塊交換的需要,並提高了正常運行時間。最後，AMAT Centura DPS™ Poly是優質多晶膜沈積的絕佳選擇。垂直工藝幾何形狀和Nanosecond Control™資產為清潔和維護提供了卓越的工藝穩定性和良好的訪問權限。該模型還具有較小的占地面積和較低的公用事業消耗，使其成為空間有限的半導體制造設施的絕佳選擇。雙源設備保證了反應物氣體的均勻分配，提高了膜的均勻性和吞吐率。