二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9293858 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是一種高性能、自動化的化學氣相沈積（CVD）設備，是各種研究和工業應用的理想工具。反應堆采用模塊化設計，允許使用各種各樣的基板和工藝條件。AMAT Centura DPS Poly Reactor具有沈積金屬、多晶矽、氧化膜的能力，以及對厚度、均勻性、成分精確控制的多層膜。反應堆先進的工藝室有一個簡單、符合人體工程學的設計，使其能夠快速準確地達到極高的真空水平。它具有重型石英冷墻，以防止高溫暴露，墻壁塗有特殊的防腐材料，最大壽命。反應堆還包括一個自動晶圓傳輸模塊，方便多種晶圓尺寸的裝卸。應用材料CENTURA DPS+POLY反應堆具有最先進的控制系統,可對過程參數進行精確和可重復的控制,包括溫度、壓力、沈積速率、摻雜劑濃度等。該單元的設計具有靈活性，因此可以輕松調整其工藝配方，以適應不同的薄膜類型和層。反應堆還有一個強大的真空機，可以達到低至1E-7 Torr的壓力。此外，反應堆高度可定制，具有垂直和橫向晶圓敏感性、彩色觸摸屏顯示以及直觀的軟件界面等高級功能。它還附帶了一個內置配方的綜合庫，該庫已針對過程的可重復性和統一性進行了優化。APPLICED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是多種研究和工業應用的理想工具，因其功能廣泛、控制精確、使用壽命長。對於任何需要以速度和準確度存放膠片的實驗室或生產設施來說，這是一項寶貴的資產。