二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188286 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1是一種用途廣泛且緊湊的單晶圓真空沈積設備。利用它的快速訪問設計，它可以被配置為一個理想的系統，為眾多沈積過程。它在同一個星團內提供晶圓傳輸，不需要襯底穿梭於塗層之間。該裝置所啟用的沈積過程是單序PVD、ALD、濺射、氧化和非晶矽基過程。DPS R1機設計用於運動經濟性、軟件驅動運動控制、提供正常運行時間和最大吞吐量。它加載了全循環過程診斷和自動化,可監視沈積中的所有組件,從而產生可重復和可靠的過程,有助於提高產量。AMAT Centura DPS R1設計用於介電、金屬和鈍化膜,以及以減壓或增大壓力沈積或蝕刻的膜。這有助於控制基板應力和蝕刻選擇性。該工具完全集成，包括石英鐘形罐、真空資產、負載鎖和晶圓傳輸自動化。集成軟件是由AMAT Genesis軟件支持的直觀圖形用戶界面。此軟件提供了對實時數據的無與倫比的查看,並利用智能診斷程序簡化了調試過程。它還提供了易於解釋的接口數據,並且可以快速處理重復任務。此外,直觀的圖形用戶界面（GUI）提供了一種引導方法,並優化了沈積過程。APPLIED MATERIALS Centura DPS R1與智能塔式技術配合使用,有助於減少維護停機時間和成本。通過將多達三個過程模塊集成到一個模型中,它可以減少刀具配置時間和資本支出。節能設計還有助於提供改進的投資回報率。綜上所述,Centura DPS R1是一種經濟、高性能的單晶圓真空沈積設備,可快速交付一致可重復的過程,並具有易於使用的圖形用戶界面,用於實時數據處理。它設計簡單，功能強大，非常適合半導體工業中的沈積工藝。