二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188605 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1反應堆是為半導體工業設計開發的先進沈積設備。AMAT Centura DPS R1反應器能夠生產用於微電子應用的化合物和氮化物的紫外線層。它的高級系統組件有助於最大限度地提高效率和過程可靠性,同時最大限度地降低過程成本。APPLIED MATERIALS Centura DPS R1反應堆由幾個部件組成，如基板加熱模塊、一個平臺和多個帶有石英蓋的石英管。組件的組合使設備能夠提供一個平衡的環境，以適應廣泛的材料沈積過程。平臺允許根據工藝配置將工具排列成線性或徑向設計。基板加熱模塊有助於確保基板表面的溫度均勻，同時最大限度地減少基板和石英管之間的差異。石英管配有數字壓力控制器和射頻電源，以提供均勻、精確、可靠的沈積厚度。Centura DPS R1反應堆設計為提供快速、準確、一致的溫度控制。此外，該機還配備了先進的熱電偶檢測工具，增強了對熱沖擊的保護。該資產采用多區域溫度傳感器進行精確控制，采用內置阻尼的主動夾緊機構，並采用快速循環啟用模型。溫度檢測還可確保大面積的均勻沈積速率,並可加快溫度的上升和冷卻速度。該設備配備了高度可靠的真空和過濾系統，使其能夠產生完美清潔和無塵的環境，以防止任何顆粒汙染。這是通過多級過濾、主動沖洗和冷凍泵送實現的。該裝置還具有高可靠性的低流量流量控制器（MFCs），以方便從符合要求的源以最小的色散精確輸送氣體。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1反應器非常適合塗層、氮化、氧化物沈積、擴散、CVD工藝和電鍍等多種應用。該機高度靈活，可用於制造ULK、Metalization層、蝕刻止動層、金屬間電介質等類似應用。AMAT Centura DPS R1還可以使用高級動力學過程控制功能提供創新和優化的過程配方。