二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293603772 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（沈積工藝設備）反應器是一種先進的半導體制造工具，用於沈積用於各種半導體和其他電子產品的薄膜。該系統用於將高質量的薄膜沈積到晶片和其他具有出色保形覆蓋率的基板上。這是通過以特定的流速和壓力向基板表面輸送工藝氣體化學物質來完成的。控制來自機組的氣流的能力確保整個過程中保持正確的氣流形狀，從而產生均勻的沈積。沈積過程使用一對磁控管進行沈積。晶片和基板支架在x-y-z軸上一致移動,晶片通過真空卡盤固定到位,以保持晶片溫度穩定。晶片隨後暴露於工藝氣體中，該氣體反應形成所需的薄膜。AMAT Centura DPS反應堆設計有電力、氣體和流體供應系統，確保過程參數能夠得到準確控制。APPLIED MATERIALS Centura DPS反應器在批次內實現了高度的可重復性，同時提供了一個穩定的環境來達到所需的薄膜質量。設備的串聯自動質量控制機（AQC）通過整個沈積過程監控基板。這是通過測量晶片特性來完成的，如反射率、覆蓋率、厚度和表面粗糙度。AQC還提供了額外的好處，如自動工藝優化、薄膜應力控制以及自動缺陷檢查和分類。Centura DPS反應堆比其他沈積系統具有多項優勢。這包括處理一系列材料的能力，例如有機物和無機物，以及使用晶圓本身進行原位監測和工藝優化。此外，反應器可用於沈積不同種類的薄膜，如金屬、電介質和絕緣體，以及一系列幾何特征尺寸。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反應器是半導體和其他電子產品制造的理想選擇。