二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293607518 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是為先進的IC和MEMS器件的沈積而開發的高性能熱反應工藝室。利用獨特的LEAN工藝創新,DPS+設備利用等離子體活化、反應性離子蝕刻（RIE）和具有低功耗工藝功能的統一工藝模塊以及可精確控制工藝化學和參數的直接驅動控制器的組合。其集成工具利用AMAT專有的SmartScan技術。這使工藝優化和快速參數調整自動化，以適應基板對基板和腔室對腔室的可變性，從而實現更可重復的工藝結果。該系統的超低壓技術（ULPT）允許溫度低至20°C。這使得這個腔室非常適合於脆弱的低k介電材料的沈積。Advanced Process Control （Advanced Process Control, APC）具有卓越的一致性,進一步提高了流程的重復性和重復性。集成APC具有高性能比例積分導數（PID）算法,可主動監視和調整工作環境,以確保每個層的過程純度、魯棒性和其他所需的規範。該裝置的高度約為41m寬x 5.1m高x 6m深，符合ISO 5潔凈室等級。它是一種先進的機器，用於沈積高k電介質、屏障層和金屬、有機和有機金屬化層等壓縮和拉伸膜。該工具還為高級薄膜形態控制提供了卓越的輪廓分析功能。它包括先進的8室設計，以及加熱器、石英罐、淋浴頭和加熱RTP（反應性離子蝕刻）等附加組件。資產還配備了確保最大工作環境安全的綜合安全模型。它具有廣泛的安全功能，如側壁保護、防爆破籠、過程警報和自動緊急關閉閥。DPS+與APPLIED MATERIALS專用的3D軟件配合使用,該軟件可為高級設備制造提供高效的3D過程集成。總體而言，AMAT Centura DPS+是一種先進的熱反應工藝室，用於生產高性能的IC和MEMS。它結合了低功耗工藝、直接驅動控制器、統一處理模塊和SmartScan Technology，給了它比其他熱反應堆更多的優勢。此外，其安全設備和ULPT技術進一步確保了工藝安全和可重復性，而其8室設計則允許3D工藝集成。
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