二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293608987 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種單晶片化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在為MEMS等先進器件及其他微觀和納米級材料的大批量生產執行薄膜沈積工藝。它由四個主要部件組成：加工室、氣體輸送設備、真空系統和控制單元。加工室是AMAT Centura DPS+的中心部件，由不銹鋼、鋁合金和陶瓷部件制成。它包括一個氣體入口，一個排氣口，一個晶片級，和幾個石英觀察端口進行過程監測。晶片級設計用於在加工過程中支持晶片，並采用氮氣凈化系統來定位，以減少汙染。氣體輸送機向加工室提供必要的反應性氣體，由歧管塊、壓力過濾器、質量流量控制器和溫控工具組成。真空資產負責疏散加工室，由粗加工泵和旋轉葉片機械泵組成。控制模型能夠精確控制所有工藝參數，包括溫度、氣體流量、反應堆壓力和晶圓溫度。它還包括一個隨時間推移監測和記錄過程數據的數據記錄設備。該系統完全自動化,允許快速設置、產品實施和過程監控。總之,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+是一種可靠而可靠的單晶圓CVD工具,旨在生產具有一致高質量結果的高級設備。該裝置能夠精確控制必要的工藝參數，其閉環控制機器確保了高水平的工藝穩定性和可重復性。