二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一種獨特的多室濕處理反應堆，用於下一代制造和技術開發。這座反應堆配備了多個腔室，為處理挑戰提供了創新靈活的解決方案。該反應堆提供了高通量、快速工藝周轉和精湛工藝控制的理想組合。AMAT Centura DPS反應堆由多個裝有沈積和蝕刻能力的腔室組合而成。這允許將多個過程步驟整合到一個反應堆中。它是二乘二系統的理想選擇，其中兩個沈積過程可以在一個腔室中進行，兩個蝕刻過程可以在另一個腔室中進行。這允許快速生產整個和靈活調整過程參數的即時。該反應堆具有多種特點，可用於更好的控制、更方便的操作和維護。它具有復合陶瓷襯裏真空室，具有高保真機械臂和多軸運動控制系統。真空室的設計提供了卓越的熱管理和改進的過程控制，而機械臂和多軸運動控制則提供了出色的晶圓處理和過程控制。高性能射頻發生器和光輻射光譜等其它特性保證了優越的工藝均勻性和可重復性。反應堆具有處理大型底物的能力，處理時間長達幾分鐘。它也可以在那段時間的一小部分時間內處理較小的底物。這是由於其高效率的加工室設計和優化的射頻供電系統。適用於低批量生產和研發應用。應用材料Centura DPS反應堆是研究人員和制造商都能使用的通用且功能強大的工具。它具有良好的工藝控制,具有高通量,穩定的沈積速率和卓越的熱管理.它提供了靈活的解決方案,可以處理各種流程任務。該反應堆非常適合大批量生產和研發，高效、快速、可靠。