二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9093676 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+反應堆是半導體制造中用於前端和後端工藝的耐用、全自動和通用的加工設備。該系統旨在為晶圓外延、離子註入、金屬CVD和ALD工藝提供最佳工藝效果。反應堆由五個主要子系統組成--工作站、加工室、控制器、排氣管和加熱器元件。工作站的設計旨在為設備的機械臂提供必要的照明、移動和對準，以及晶圓裝卸的準確性。加工室本身由真空室組成，可抽空至低至0.06 Torr的壓力，為沈積、植入和其他過程提供純凈無顆粒的環境。腔室內部也設計為防止薄膜、顆粒和其他材料堆積，而熱交換器則保持均勻的工藝溫度。DPS+的控制器負責執行應用配方中的命令,以及進行必要的調整和決策以優化過程結果。界面方便用戶,允許手動調整和自動化。機器的排氣管負責收集過程副產品，並將腔室內的熱負荷降至最低。最後，反應堆的加熱器元件是可調的，可以設置在廣泛的溫度範圍內，提供進一步的多功能性。總而言之,AMAT Centura DPS+旨在在半導體制造中提供最佳處理效果,同時實現完全自動化和高效。該工具的靈活性還允許處理各種材料，從第四類材料到第三至第五類復合材料。反應堆的多功能性也使其成為前端應用的理想選擇，如外延和離子植入，以及後端應用，如Metal CVD和ALD。