二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9096236 待售

ID: 9096236
晶圓大小: 1997
Poly system (2) Chamber Currently installed 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反應器是化學氣相沈積(CVD)和原子層沈積(ALD)可用的最好、最可靠的工具之一。它是為全面生產而設計的先進工藝設備,使用戶能夠開發出具有優越的膠片性能和性能的先進膠片。AMAT Centura DPS系統的CVD反應室由不銹鋼構成,由兩個並排、垂直安裝的石英工藝管組成。兩個管子都被真空環境包圍,總工藝面積可達8.9升。采用標準爐單元,確保工藝室內的溫度得到準確維護。這兩個工藝管中的每一個都包含一個被並入石英管的多區磁感器。可以單獨控制磁感器,以確定整個運行的溫度分布。APPLIED MATERIALS Centura DPS機器的氣體輸送是通過光纖多區域氣體輸送工具進行管理的,通過允許每個區域都有自己的流速來確保均勻性。該資產還具有對溫度、壓力和氣流進行綜合沈積監測和控制的功能。這樣可以提高制造過程中的精度,並有助於優化均勻性。此外,Centura DPS還利用數字接口對模型設置、參數和配方進行遠程管理。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS設備是生產高品質薄膜的堅固可靠工具,具有優異的薄膜性能和性能。通過精心設計和使用先進技術,AMAT Centura DPS使用戶能夠準確地制作具有出色均勻性和可重現性能的膠片。該系統是那些希望開發性能優越的下一代電影的人的理想選擇。
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