二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9157801 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
已售出
ID: 9157801
晶圓大小: 12"
Metal etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是下一代反應堆,旨在滿足廣泛的設備加工需求。它提供了對關鍵沈積工藝參數的精確控制,是公司雙模式解決方案(DPS)系列產品的最新版本。該反應堆的設計目的是通過精確的工藝控制,可靠地處理當今先進的計量、沈積、蝕刻和表面處理任務。AMAT Centura DPS適用於前沿設備的高需求量生產,將先進的沈積和陣列技術與改進的工藝穩定性相結合。DPS可為高長寬比應用(如鉆孔和溝溝)和更傳統的設備工藝提供精確的全場蝕刻和沈積。該反應堆裝有一個封閉的單晶片工藝室,與以前相比,其溫度、壓力和等離子體均勻性大大提高。其對流冷卻設計提供了更好的長期穩定性,以及更大的聚焦深度。反應堆還提供內置的自動腔室沖洗能力,提供均勻的工藝氣體。DPS提供了對沈積和蝕刻工藝參數的精確控制,允許重復產品結果。此外,工藝室提供實時等離子體和壓力反饋;消除了曝光後模型校準的需要,並允許立即對過程進行校正。憑借其先進的晶片支持系統,DPS為蝕刻和保形塗層提供了理想的環境。除了先進的工藝功能外,APPLIED MATERIALS Centura DPS還提供卓越的安全功能,包括內置的溫度傳感器,可檢測熱失控情況。其可單獨尋址的配方模塊允許用戶以最大的靈活性調整配方設置。Centura DPS是一個強大的反應堆,可以滿足各種工藝的需求。憑借其最先進的功能和卓越的安全特性,它是任何設備生產環境的理想選擇。
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