二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9188292 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種高性能化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在支持具有高度工藝控制的先進材料沈積。AMAT Centura DPS+反應堆采用業界領先的燃燒室設計，可以以比其他CVD系統更高的質量和可靠性沈積材料。設計用於石墨烯、碳納米管、各種氧化物材料等材料的大批量生產，以及用於先進半導體應用的電介質、金屬等化合物的沈積。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+具有密封腔室,具有獨特的超高泵速度設計。這種壓力、溫度和動能控制相結合，提供了一個低溫氣相沈積平臺，支持大面積高度保形、均勻、優質的材料生長。腔室與真空泵隔離，從而消除了主要的汙染源。它還能夠提供比競爭系統更高的吞吐量，因為它的基板尺寸更大，直徑可達200毫米。該反應室有兩種沈積源的沈積材料選擇：第一種是晶圓噴頭，這是一種垂直於基質的傾斜噴頭源，第二種是傳統的垂直噴頭源。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA DPS+可以修改，以適應氣泡、分子束外延源、氣箱等前體輸送系統。CENTURA DPS+具有直觀的控制設備,允許用戶只需單擊幾下即可對多種配方進行編程,並快速實施復雜的沈積過程。用戶還可以監視單個過程步驟或運行分析,例如反應速率或前體利用率。該系統強大的自動化界面可輕松集成到自動處理線路中,其開放的體系結構可實現自定義的可編程性和調優。簡而言之，AMAT CENTURA DPS+反應堆是一種用途極為廣泛、容量極大的CVD單元，可用於沈積質量和可靠性較高的多種材料。其密閉室設計和多用途沈積源配置為用戶提供了前所未有的大面積過程控制和材料均勻性。直觀的控制機器和自動化集成功能使其成為滿足苛刻處理需求的理想解決方案。