二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9192739 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一種先進的等離子體幹條式反應器，用於半導體和微電子工業的蝕刻操作。它是Centura Wafer蝕刻工具的下一代版本,提供比其前身更高的吞吐量和更高的精度。DPS適用於廣泛的材料，包括矽、多晶矽、氮化矽、氧化矽和鋁。AMAT Centura DPS是一種高性能、高通量的幹條設備,能夠執行高度自動化的精密蝕刻操作。該系統采用先進的等離子體技術以及多氣體混合室，以盡量減少潛在有害的電離輻射造成的損害。DPS支持一系列氣體，包括氫氣、氧氣、氮氣和其他惰性氣體，這取決於正在加工的材料。APPLIED MATERIALS Centura DPS專為快速高效的蝕刻操作而設計。它從涉及流處理的預處理循環開始，該循環應用一層氧化薄膜來提高氧化物的選擇性。第二個循環用於將氧化物蝕刻到目標深度。Centura DPS的眾多特性，如其電容耦合等離子體（CCP）源和快速剝離過程，允許蝕刻時間少於5秒。這一短的蝕刻周期提高了生產率，提高了產品產量。該單元還提供多種過程控制功能。這包括一個基於波形分析的實時監控機器，能夠精確控制蝕刻過程。這樣可以自動檢測和糾正任何潛在的過程問題,從而提高可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是半導體制造商尋找精密幹條加工的理想工具。AMAT Centura DPS具有先進的控制系統、快速的循環時間以及與以前的Centura晶圓蝕刻工具相比提高的產量,是任何蝕刻操作的理想選擇。