二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9193142 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一種反應性離子蝕刻（RIE）和沈積設備，用於制造集成電路（IC）和許多其他類型的半導體器件。AMAT Centura DPS旨在為大批量IC生產提供卓越的性能、工人安全和易用性。應用材料Centura DPS設計用於沈積或蝕刻半導體制造中使用的許多材料，從金屬到有機物。它使用若幹工藝氣體的組合，送入一個工藝室，以實現這些材料的高質量蝕刻或沈積。工藝氣體包括氧氣、氮氣、氙氣、氦氣和/或氯化氫。該工藝室包括一個動力頂部電極，可移動基板臺，和渦輪泵用於疏散腔室。位於腔內的等離子體源用於產生蝕刻或沈積材料所需的離子。Centura DPS能夠在晶片的整個表面上提供均勻的蝕刻和沈積結果，無論其大小如何。它還能夠在各種壓力、溫度、功率水平和定時周期內運行,以獲得所需的蝕刻或沈積結果。此外，該室的設計有助於保持工人的環境清潔和安全，因為氣體擴散和汙染最小化。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS還采用了若幹保障措施，保護工人免受危險物質的侵害。它的多級聯鎖系統有助於確保自動化工藝配方保持在其參數範圍內,最大限度地降低產品汙染和工人接觸有害物質的風險。該單位還包括一臺室內監測機，使用傳感器和照相機系統記錄處理數據，並確保工人和設備的安全。AMAT Centura DPS是一種極為流行和可靠的IC生產工具。它能夠提供優異的蝕刻和沈積效果，同時具有較高的安全性，是生產高質量集成電路的理想選擇。