二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9212912 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（沈積工藝設備）是一種高度通用和可靠的UHV（超高真空）工藝工具,用於將薄膜材料沈積到半導體和平板顯示基板上。該系統經過專門設計，用於生產高純度、具有出色的均勻性和均勻性控制能力的超薄層工藝材料，從而能夠產生復雜的沈積工藝。該裝置利用兩個獨立的沈積源和兩個獨立的氣源。該機經過設計，達到了非常低的顆粒物水平，使其非常適合於生產超薄層。AMAT Centura DPS使用多種工藝組件運行，包括真空處理室、沈積源、氣源、寫入源、目標屏蔽層、溫度源以及超高真空（UHV）源。真空過程室是一個連續的垂直管結構，使持續的超高真空條件，有助於消除粒子逃逸進入機器環境的可能性。沈積源是一種電子束蒸發工具，旨在降低沈積在基材上的薄膜結構中液滴和均勻性的影響。氣源用於向工藝室引入預定的氣體壓力，也可用於監測和控制過程。該寫入源用於交付工藝配方，目標屏蔽可以對沈積過程中使用的光子能量進行空間控制。應用材料Centura DPS對復雜多層結構的沈積非常有效，因為它對沈積源和氣源都有精確的控制。它能夠生產薄至10納米的層，具有出色的均勻性控制能力。由於其超高真空結構和精確的溫度控制，沈積過程具有很高的可重復性。該資產配備了廣泛的數據記錄和過程控制，允許用戶實時監控和調整過程參數。Centura DPS是一種非常可靠的超高真空工藝工具,強烈推薦用於生產具有精確均勻性控制的薄膜層。其精確的溫度控制和先進的數據記錄能力使其非常適合復雜的多層過程，而其UHV配置則提供了高度的可重復性和可控過程。這使得它成為底物沈積和薄膜應用的理想選擇。