二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233290 待售
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單擊可縮放
ID: 9233290
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura 2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: Normal
Chamber E: Fast cool down
Chamber F: Orieter
Xfer: VHP
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A, B&C:
Gas / Size / Model
Cl2 / 200sccm / 8161
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
NF3 / 100sccm / 8161
N2 / 20sccm / 8161
CF4 / 50sccm / 8161
SF6 / 50sccm / 8161
O2 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8161
Ar / 200sccm / 8160
Missing parts:
Process chamber chiller & hose
EPD PC & Monitor
Chamber D (ASP+):
Microwave generator missing
Tuner missing
Magnetron head
Dummy load
Wave guide gas panel parts
VDS
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是為沈積過程設計的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它非常適合各種應用，從先進的熱壓鍵到先進的金屬化層，再到非極性電介質和氧化物的生長。DPS+非常適合進行完整的沈積操作-無論所需薄膜成分的復雜性或要求如何。AMAT Centura DPS+具有全7軸運動控制的雙槍雙快門硬件配置，使其能夠精確調整基板和沈積源的位置。全運動控制提供了過程的靈活性,從而實現了具有高級控制序列的高精度過程。此外，方便地進入基板支架的能力允許快速裝載和卸載基板。為了方便起見,DPS+有幾個現場或近地監測過程,這些過程監視過程條件,提供實時反饋,並允許通過即時調整優化過程。這種實時監控還可以實現高度的態勢感知,並確保所有進程都能平穩高效地運行。反應堆還具有獨特的計算機控制氣體分配設備，包括內部載氣供應、氣流控制器和嵌入式氣體混合物控制系統。該裝置可精確控制工藝條件，並確保每個工藝的氣體輸送得到優化。在安全性方面,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+采用了多種措施來確保安全運行,從堅固的電機到可編程聯鎖工具,再到獨立認證的緊急停止資產。此外，反應堆有嚴格的警報系統，可以監測所有過程，提醒操作員註意任何過程的不規則性。AMAT CENTURA DPS+是一種用途廣泛且可靠的反應堆，可以處理廣泛的應用要求。其全運動控制、先進的監測能力和獨立的安全系統使其比市場上的其他反應堆更具優勢。控制系統有助於確保對工藝條件的精確控制，並使用戶能夠更好地控制沈積工藝，使其成為質量控制和保證的寶貴工具。
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