二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249569 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種先進的等離子體蝕刻反應器，設計用於進行深各向異性蝕刻和淺各向同性過程，具有高的選擇性和對底層的最小損害。它配備了自動化遙控設備，使操作快速高效。該反應堆基於專有的AMATSi（Advanced Materials Atomic Thickness Selection）蝕刻技術，包括廣泛的工藝氣體選擇，為各種應用提供優化的結果。其獨特的「多填充」設計沿著整個工藝室創造出均勻的壓力，允許嚴密的過程控制，提高了均勻性和可重復性，更大的產量和成本節約。AMAT Centura DPS+可配置用於PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）和PEB（等離子體增強蝕刻）處理。PECVD處理用於在諸如PCB或矽片等基板上生長金屬和其他材料的薄膜。PEB處理用於去除這些薄膜，蝕刻金屬和電介質等底層材料。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+采用多級方法構建,可在一次運行中處理高達8英寸的晶片。反應堆室的設計可容納定制氣體輸送系統和過程控制器，使用戶能夠量身定制其過程，以精確匹配其應用的規格。AMAT CENTURA DPS+由先進的第十二代電源供電，在蝕刻過程中實現了更高的等離子體密度和改進的工藝均勻性。該系統還配備了先進的真空裝置，用於快速疏散過程廢物和有機物種。此外,該機器還可用於實時監視和分析流程,從而使用戶能夠快速輕松地對流程進行任何必要的調整。CENTURA DPS+是一款功能強大、先進的蝕刻反應堆工具，提供卓越的性能和可重復性。全面的設計和先進的功能使其成為一個經濟實惠的解決方案，用於在一系列行業中的蝕刻應用。