二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249570 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種PECVD（等離子增強化學氣相沈積）反應器，設計用於制造高產量、高質量的半導體器件產品。DPS+PECVD利用先進的等離子體技術沈積SiN和SiO2薄膜，用於集成集成電路和其他微觀設備的制造。這種PECVD反應器特別適合於保形薄膜層的沈積。DPS+采用了負載鎖真空工藝室，實現了安全的可重復薄膜厚度和保形性。通過磁性和氣性等離子體生產的結合，DPS+可以與介電膜和絕緣膜實現高效、低成本和過程穩定性。這使得它對於大批量生產應用程序特別有用。DPS+PECVD系統還具有兩個專門為設備制造設計的高級功能和軟件。第一個是等離子體處理同位素分析（PPIA®），提供實時的過程性能數據。這樣可以快速直觀地調整過程,從而實現可靠的設備制造。第二個特點，反應性增強配方（REF），有助於提供均勻沈積的薄膜具有良好的步長覆蓋。DPS+系統由高級軟件支持，使用專有算法和可操作的圖形模型，對流程進行連續優化和維護。這使得生產人員更容易以經濟高效的方式快速、重現地制造具有改進的器件壽命和可靠性的半導體器件。總體而言,這種高性能、經濟高效的PECVD系統提供了先進的薄膜沈積和等離子體處理能力,非常適合制造高產量、高質量的半導體器件產品。它是任何希望過渡到大批量制造的半導體公司或鑄造廠的完美工具。