二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251498 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種最先進的、用途廣泛的水平單晶片擴散爐，具有快速晶片加載系統。它專為采用離子註入、熱氧化、氮化物沈積等工藝制造的多種類型半導體器件的高通量生產而設計。AMAT Centura DPS+具有出色的均勻性和一致性,晶圓溫度可高達1000 °C,具體取決於應用程序。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+具有廣泛的過程控制功能,包括多區域供暖和制冷、腔室溫度控制、真空控制、氣流控制和對單個熱區的獨立控制。為了確保準確和可重復的過程，熱區和熱區可以使用特定地點的配方進行校準，壓力區可以用壓力傳感器獨立控制。使用熱電偶等各種分析儀器監測過程，包括晶圓探測和基於計算機的診斷。該爐能夠每小時移動100個晶圓,並具有傳輸能力、200V、8KW的高功率輸入電源和自動氣流清除能力。氣體控制系統包括用於凈化和回填的惰性氣體，以及用於監測和控制氣體混合物種的氣流傳感器。CENTURA DPS+配備了多個查看端口和自動結束運行晶圓傳輸。它還提供了一個低kV晶片安裝平臺，用於激活或蝕刻用於背面蝕刻的掩模，以及預清潔蝕刻工藝。該爐具有一個爐上晶圓曲率傳感器（OWCS），它允許在運行過程中的曲率補償和一個完整的晶圓跟蹤過程。運行溫度驗證是使用位於腔室前部的紅外光學窗口完成的。APPLIED MATERIALS Centura DPS+可以配置一系列高級自動化、監控和控制功能,包括具有現場計量和運行結束質量檢查功能的過程模塊。總體而言，AMAT CENTURA DPS+是一種可靠、準確且經濟高效的擴散爐，提供卓越的性能。它是多種類型半導體應用的理想選擇,因為其強大而靈活的設計確保了高精度的結果。