二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251499 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一種前沿的高密度等離子體蝕刻工藝反應器，旨在提供超高蝕刻效率、高通量和改進工藝流程。AMAT Centura DPS+結合突破性蝕刻技術和突破性低成本耗材，為大小半導體和MEMS器件制造廠提供經濟高效、一致、高質量的蝕刻解決方案。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+使用多種蝕刻技術的組合，包括雙頻高密度等離子體（HDP）、各向同性蝕刻和低壓化學氣相沈積（LPCVD）。這種技術組合允許在各種應用中改進經濟的蝕刻工藝,如薄膜蝕刻、深淺溝蝕刻、選擇性設備層隔離、互連隔離和多層蝕刻等。獲得專利的HDP技術提供了可獲得的最高蝕刻速率,而不會對底層基板層造成「底切」或變形。HDP技術可用於各向同性蝕刻和各向異性蝕刻，為兩者提供高蝕刻速率。這種蝕刻技術特別適合於纖薄、高度細膩和/或極其保形層的蝕刻。集成低壓化學氣相沈積（LPCVD）技術可以提供選擇性和均勻的化學蝕刻工藝。LPCVD工藝獨特的實時反饋系統確保了工藝每個階段的最佳沈積,並提高了生產產量和設備性能。LPCVD工藝還提供各種速率、選擇性和化學計量,從而可以生產具有定制特性的定制工程材料。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+的平臺靈活性通過其三種操作模式得到進一步增強。其中包括自動生產模式、半自動選擇模式和手動專家選擇模式。三種模式設置允許蝕刻器針對手頭的特定應用程序或任務優化過程條件和性能。受美國專利保護的APPLIED MATERIALS Centura DPS+為等離子體蝕刻需求提供了獨特的解決方案。CENTURA DPS+結合了先進的工藝流程、多種蝕刻技術和靈活的平臺,為各種設備制造需求提供了經濟高效、一致且高質量的蝕刻工藝。