二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251502 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS+是AMAT開發的用於高級加工應用的半導體反應堆。AMAT Centura DPS+是一種先進的多基質擴散和植入反應器，通過高速順序基質轉移，提供在單個工藝工具中快速沈積和蝕刻摻雜在多個基質上的薄膜的能力。這使得該設備非常適合用於高密度、超大規模集成（ULSI）組件的大批量生產。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+反應器還支持先進的材料沈積技術,如低壓化學氣相沈積（LPCVD）以及MOL（金屬氧化物低溫）工藝。APPLIED MATERIALS Centura DPS+反應堆是一個自動化、全自動的多晶圓系統,由多個模塊組成,每個模塊都設計用於處理特定的處理階段。其中包括清除/氣體流模塊、晶圓傳輸模塊、熱室、氣體輸送模塊、冷壁模塊和熱資源模塊。CENTURA DPS+反應堆的凈化/氣體流動模塊通過自動控制和保持氣體流量以滿足特定要求，確保了可靠和一致的氣體流動。該模塊還管理和控制適當清除反應堆腔室及其過程所需的必要電子設備和力學。AMAT CENTURA DPS+反應堆的晶圓轉移模塊能夠將多個基板高效準確地轉移到熱室。這個模塊對於AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+單元的準確性和效率極為重要，因為它加速了整個生產過程。Centura DPS+反應堆的熱室由316L不銹鋼構成，其設計可提供高達1200攝氏度的溫度範圍，以滿足先進的加工需求。可控溫度使腔室能夠在不同的基板上精確應用加工型材，確保沈積或蝕刻材料時的精確度和精確度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+反應堆的氣體輸送模塊允許機器所需的過程氣體準確準確地輸送。該模塊還負責對反應堆所需的氣流進行布線、控制和管理。AMAT Centura DPS+反應堆的冷壁模塊使低溫冷卻（或低溫冷卻）能夠準確、精確地應用於基板上，從而實現極其精確和可重復的溫度控制。最後,應用材料CENTURA DPS+反應堆的熱資源模塊管理和控制熱室的必要資源,如電力和加熱元件,以便進行準確和可重復的處理。此外,此模塊還允許對溫度進行精確的自動調整以滿足特定要求。總之，這些模塊使應用材料Centura DPS+反應堆能夠準確、精確地沈積和蝕刻材料，提供高密度、超大規模集成組件的大批量制造。APPLIED MATERIALS提供的先進技術確保了可靠和可重復的性能,從而實現了半導體行業的最高精度。