二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9255765 待售
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ID: 9255765
晶圓大小: 12"
System, 12"
(4) Chambers (With pumps)
(2) Wafer transfer modules
Front end
Electronics cabinet
Etch clean AC rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor是一種先進的半導體加工設備，旨在使下一代半導體產品的生產具有成本效益和可靠性。它具有真空室、通用基板臺、前端卡帶負載鎖、自動負載端口和可編程運動控制器，所有這些設計都是為了簡化生產並最大限度地減少用戶時間。AMAT Centura DPS消除了晶片和基板手動加載的需要，減少了作為半導體工藝傳統組成部分的危險化學品的暴露和處理。APPLIED MATERIALS Centura DPS配置了一個獨特的3軸晶圓傳輸機器人,能夠在活動腔室內精確定位基板和組件,從而實現最大的正常運行時間。除原位加工室外，該系統還包括用於底物預處理/後處理的遠程加工室。集成過程控制單元允許近乎實時的反饋，從而能夠獲得精確的處理參數並進行準確的維護。Centura DPS配備了一臺高分辨率投影相對測量機,可確保多次運行過程的準確性和可重復性。這種復雜的成像工具還提供了特征特征的逐層表示，以驗證精確的過程條件和結果。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor具有多種工藝模式,包括幹式和濕式蝕刻。除蝕刻外，該資產還可用於沈積和剝離應用。AMAT Centura DPS采用了維護友好的功能,例如具有快速斷開連接功能的智能閥門,使維護更加方便,停機時間更短。反應堆可以配置各種腔室大小，提供靈活性以滿足每一個應用的具體需求。APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor體積小巧,使它能夠在狹窄的空間中提供高質量的性能,為制造商提供了在空間非常寶貴的情況下操作系統的機會。這種可靠可靠的模型提供高產量和一致質量的制造,使公司能夠最大限度地提高其競爭規格。
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