二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9258527 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（Direct Plasma Source）是一種用途廣泛的單晶圓反應器，為臨界膜沈積過程提供可靠和可重復的等離子體環境。單晶片設計消除了手動傳輸的需要,從而促進了快速高效的生產率。反應室的設計旨在改善工藝控制和提高膜的均勻性，允許用戶在各種沈積過程中實現最高性能，包括單晶圓外延和CVD過程、介電層間沈積和金屬化過程。AMAT Centura DPS提供了一系列功能和優勢,首先是先進的高效射頻發生器,它提供穩定的等離子體環境和最小的雜質。該設備利用先進的自動化控制軟件實現靈活高效的操作，使用戶能夠創建和更新配方，甚至支持系統之間直接配方轉移的選項。此外，APPLIED MATERIALS Centura DPS內置氣體和液體輸送系統，方便氣體凈化和液體冷卻。該設備的設計還實現了高密度、近距離公差處理,並具有較窄的過程窗口和較長時間內的過程重復性。該機還包括一個集成的燈絲清洗站，以減少維護和增加正常運行時間。它具有高壓淋浴界面，可有效處理厚膜，並利用嵌入式診斷工具進行自動故障檢測和反饋。最後，該資產具有多種安全特性，如緊急關機模型和緊急排氣閥，以確保安全可靠的操作。總之，Centura DPS是一個業界領先的單晶圓反應堆，為滿足先進制造工藝的苛刻要求而建造。憑借其內置的射頻發生器、自動化軟件、高密度設計、集成的氣液輸送、嵌入式故障檢測和安全功能，該設備被設計為以最小的停機時間提供可靠和可重復的處理。