二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9296970 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（雙工藝解決方案）是半導體工業中常用的雙工藝反應器。它提供了一個自動化的單源批處理過程,它提供了出色的溫度和壓力控制,並提高了吞吐量和更高的流程可重復性。因此，DPS反應堆適用於廣泛的先進半導體應用。AMAT Centura DPS具有兩個工藝模塊,允許用戶恢復晶片到晶片的可重復性,即使在同一工藝室中執行多個步驟也是如此。每個工藝模塊包括兩個上下加熱板，可以達到高達1500 °C的溫度，以及兩個低壓射頻源，最多可支撐200KW的功率。此外，DPS反應堆還配備了先進的PID（成比例積分導數）控制器和軟件，提供精確的溫度控制，從而實現統一、一致的工藝性能。APPLIED MATERIALS Centura DPS的設計具有靈活性,各種組件可用於不同的處理應用程序。它可以根據需要為蝕刻、沈積和剝離過程定制配置。反應堆還提供高分辨率的壓力和溫度測量，先進的控制器提供頂尖的回流控制。Centura DPS也是高度耐用和安全的，在保持必要溫度和壓力的同時提供密封環境，並提供卓越的熱均勻性和快速循環時間。此外,它還具有出色的溫度和壓力監控功能、自動溫度和壓力警報以及用戶友好的界面。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS是尋求最大限度提高生產效率和始終保持最高工藝質量的用戶的絕佳選擇。它易於使用、可靠且功能豐富,非常適合半導體和先進包裝行業。