二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9314928 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一種面向工藝的快速熱反應設備，用於氧化鋁沈積、非晶矽沈積和其他半導體工藝等多種應用。它具有水平導向的U型反應堆室，內部有晶圓支撐。反應堆室依靠可編程的輻射加熱系統對溫度提供精確的控制，允許晶圓表面上的熱能精確且均勻的通量。電氣單元集成了一個過程控制盒，使用戶可以輕松監控和調整時間、溫度、氧氣壓力等參數。該機的設計在低溫無創熱反應加工方面提供了優異的效果。其專有的漫射反射器技術允許晶圓表面上均勻的溫度剖面，允許沈積在低至300 °C的溫度下運行，使其對於GaAs和SiGe等敏感基板極為安全。這種低溫處理非常適合用於集成電路的生長和維持層均勻性。此外，該工具還包括一個用於監測熱沈積過程的集成光學資產，使用戶能夠快速檢測任何沈積不規則性。AMAT Centura DPS反應堆能夠在納米範圍內進行可重復性和穩定性的快速熱過程循環時間短至15秒。其獲得專利的均勻熱分配技術為各種工藝提供了卓越的精度和可重復性,為精細的系統提供了卓越的效果。該模型還附帶了一套程序驗證和技術支持工具，以確保過程結果的質量。APPLICED MATERIALS Centura DPS反應器是半導體器件制造工藝的理想選擇，在低溫沈積方面提供優異的效果，同時保持最高的一致性和準確性。它的低溫處理能力使制造商能夠在執行復雜過程的同時仍然保護細膩的基板，而它的監控功能讓用戶能夠快速、輕松地檢測和調整任何不規則性。