二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9350294 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一種最先進的反應堆設備,旨在提供可靠、高性能、長期的化學蝕刻解決方案。這種三腔化學氣相沈積（CVD）反應器被設計為生產出超薄膜、厚膜、均勻膜和受控膜厚度。AMAT Centura DPS系統提供了廣泛的等離子體蝕刻能力，能夠支持化學幹蝕刻和等離子體增強蝕刻過程。該單位還配備了自動化過程控制機器，用於精確監測和可重復的過程。APPLIED MATERIALS Centura DPS配有高性能射頻電源和等離子體激發電極，可提供對蝕刻過程的精確控制，確保可靠性和均勻性。反應堆還配備了自適應過程控制工具，允許通過計算機控制的過程參數進行過程優化。此資產具有直觀的界面,允許用戶快速設置流程參數並根據需要對其進行調整。流程控制模型還提供警報通知功能,用於監視任何流程偏差,以便在需要時可以采取糾正措施。Centura DPS是一種多功能設備，因為它可以用於多種應用，包括先進的介電蝕刻、苛刻的屏障層蝕刻以及高速率的銅蝕刻。它還設計用於高吞吐量和與多個晶片同時使用,從而提高效率和生產率。反應堆的設計針對低擁有成本進行了優化，能夠即時調整工藝條件，便於清理維護。等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）工藝，加上自動化的工藝控制，使得能夠生產具有出色均勻性和蝕刻剖面可重復性的保形膜。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS是一個可靠且用途廣泛的CVD反應堆系統,為用戶提供廣泛的等離子體蝕刻功能、高吞吐量和自動化過程控制。這個反應堆單元能夠實現精確、可再現、均勻的蝕刻結果，可以應用於各種蝕刻應用。
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