二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9398745 待售

ID: 9398745
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Metal etcher, 8" Wafer type: SNNF Hard Disk Drive (HDD) Floppy CRT Screen LLA/LLB: Wide body load lock with rotation HP Robot Chamber A: ASP+ Chamber C: Metal DPS R0 Chamber D: eMxP+ Chamber E: Single slot cool down Chamber F: Orienter Main AC rack System controller rack Power supply / Generator racks Miscellaneous parts Does not include: Heat exchangers Backing / Roughing pump SSSCo PDS Solution eMxP+ Process kit eMxp+ ESC 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS(動態工藝設備)是一種反應堆,設計用於在節能靈活的平臺內加工晶片,完善用於制造光電、微電子和混合材料。該系統通過大型群集工具提供高吞吐量,能夠同時處理多達28個晶圓。利用先進的控制電子設備,AMAT Centura DPS提供了可重復、準確和可靠的性能以及快速的周期時間。它結合了高方面、多反應室設計和獨特定位的石英壁,確保了所有沈積區域的均勻性,提供了卓越的工藝精度。APPLIED MATERIALS Centura DPS提供了廣泛的過程功能和參數,使客戶能夠快速、經濟高效地獲得所需的結果。該反應堆由一個低質量、低熱量、高效的歧管組成,該歧管可輸送過程氣體,以及一個用於精確和可重復晶片定位的高效磁化器設計。該單元包含用於自動化操作的可編程邏輯控制器(PLC)技術、易於使用的高級圖形用戶界面(GUI)以及集成的配方和趨勢存儲,以實現最高的效率和質量。Centura DPS與各種基材尺寸和材料兼容,並通過使用均勻的溫度控制提供出色的基材均勻性。該機器包括先進的自動化和控制能力,具有可定制的成核和拆卸程序,以及多層自動化晶圓處理工具。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS還提供快速啟動資產和無晶圓汙染的環境。總體而言,AMAT Centura DPS是一種高度通用的型號,非常適合制造高性能光電、微電子和混合材料。該設備具有極好的可重復性、準確性和晶片對晶片均勻性,非常適合精確應用。此高級流程旨在優化吞吐量,同時最大限度地降低成本、能源消耗和時間。
還沒有評論