二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #138375 待售

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ID: 138375
CVD system (3) DxZ chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一種反應堆設備,設計用於半導體制造的大批量生產晶圓。該系統由一個工藝室、加熱和冷卻系統、氣體輸送系統和電力供應組成。該工藝室是一種不銹鋼真空密封環境,通過陶瓷密封件與外部加熱和冷卻源相連。這個腔室配有晶片支架,一次最多可精確對準六個晶片。腔室內部通過直接氣體加熱進行加熱,並通過冷壁或液氦熱交換器進行冷卻。氣體輸送由自動控制閥提供,以確保精確的過程控制和排序。真空裝置使腔室保持適當的工作壓力,並在處理過程中保持清潔的氣氛。此外,該機器還配備了一個負載鎖定工具,以提供晶片的有效質量轉移進出和進入加工室。資產中使用了多種電源,包括直流、射頻和微波源。AMAT Centura DxZ按照最高標準構建,為高產晶圓生產提供了安全可靠的解決方案。它提供精確的溫度控制、快速的熱循環、多晶圓的充足空間、可編程的氣體輸送,並且可擴展到各種產品。還可以將模型配置為滿足客戶需求,並提供各種選項來滿足客戶的特定需求。結合AMAT高級硬件和軟件解決方案,APPLIED MATERIALS Centura DxZ可為半導體制造提供最佳工藝解決方案。
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