二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #166624 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一種基於等離子體的蝕刻反應堆設備，旨在滿足與半導體器件制造相關的工藝和生產需求。該系統旨在蝕刻多層介電堆叠層和硬質預算，包括由氮化物、矽和二氧化矽制成的。該單元是模塊化和可配置的，使其能夠適應一系列的工藝條件。該反應堆能夠在納米級高精度和可靠性地蝕刻材料。它融合了先進的等離子體源和過程控制技術，如二維射頻功率「推進器」和降低的感應阻抗。這些技術能夠在納米級精確控制蝕刻參數。此外，一個三維視覺機器使晶圓輪廓計量，提供實時閉環反饋到反應堆的蝕刻工具。AMAT Centura DxZ設計為具有穩定的蝕刻速率和良好的可重復性,非常適合生產應用。其高效的設計確保了高蝕刻率、低擁有成本和過程穩定性。資產的集成氣體處理模型使蝕刻過程中使用的氣體得到最佳利用，確保產品產量高，吞吐量提高，擁有成本低。APPLIED MATERIALS Centura DxZ還集成了先進的過程控制算法,以實現模式的快速可靠蝕刻。Centura DxZ采用了多種安全功能來保護晶片和人員免受傷害。它包括在蝕刻過程中保護晶片免受傷害的夾緊機構，具有先進的人機界面功能以防止用戶錯誤，以及包含有害物質、排放和噪聲水平的集成外殼。此外，該設備的設計符合國際半導體設備和材料（SEMI）的環境、安全和可靠性標準。綜上所述，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ是一種先進的基於等離子體的蝕刻反應堆系統，旨在滿足與半導體制造相關的工藝和生產需求。它采用了先進的納米級精密控制技術，確保了高精度和可靠性。此外,該設備還具有安全功能,高效且經濟高效,並符合環境、安全和可靠性方面的SEMI標準。