二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9096727 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應堆是一種最先進的沈積設備，將物理氣相沈積（PVD）、化學氣相沈積（CVD）和蝕刻設備全部結合在一臺機器中。該反應堆采用了完全可配置的雙區腔室設計，為先進設備的生產提供了各種工藝變化。DxZ能夠處理任何類型的樣品或基材,如矽片和石英滑軌,直徑最大為4英寸,最大樣品尺寸為8 x 8英寸。AMAT Centura DxZ反應堆系統的設計旨在通過先進的軟件實現高精度的過程控制,從而實現各種過程參數的可重復性和調整。該設備專門設計用於處理各種沈積、蝕刻和CVD過程，如原子層沈積（ALD）、濺射、退火、蝕刻和等離子體輔助蝕刻。例如，可以調整反應室的溫度狀態和真空水平，以優化各自的應用。此外，APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應堆通過其集成電熱節流（ETT）技術和全自動基板處理單元提供進一步的控制。這使得它成為光刻和薄膜生長的理想選擇，也是工業生產和研究先進半導體器件的理想基礎。此外，利用真空處理和集成實時監測的最新技術，Centura DxZ反應堆可以方便地在各種沈積和蝕刻過程之間切換。這為應用各種復雜的工藝，如自動流動沈積或超高真空（UHV）工藝提供了極大的通用性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應堆是一種用於先進工業和學術研究的頂級機器。它匯集了高工藝控制和先進的兼容性與各種樣本量和基材，使得極大的創造力和創新對設備制造。對於開發人員、研究人員和工程師來說，這是一臺功能強大、用途廣泛的機器，可以最大限度地提高他們的研究成果。