二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9162773 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一種先進的蝕刻/反應性離子蝕刻（RIE）反應器，設計用於制造集成電路。DxZ能夠對基材進行蝕刻、清潔、離子註入和熱處理。該工藝室采用不銹鋼制成，耐腐蝕，具有用於基材加工的集成陰極和陽極，以及用於精密蝕刻的自動調諧系統。DxZ配備了最新的氣體控制技術，包括氣體流量監測儀和帶有多選擇噴嘴的氣櫃，以實現一致的流量。反應堆具有深陷阱配置以最大化蝕刻速率和質量，以及兩個優化質量流動均勻性的氣體歧管。聯鎖和安全功能確保在停止或重新啟動操作時進行正確的操作,並且自動調整系統可確保操作過程中的精確蝕刻。DxZ配備了先進的基板裝載機，可精確處理多達三十二種大小的基板。硼矽酸鹽玻璃頂部的設計提供溫度均勻性和散熱性，而脈沖屏蔽層增加等離子體均勻性，減少晶片碰撞。射頻阻抗匹配網絡提供安全、準確的供電。DxZ還配備了液氮循環冷卻單元、射頻熱管理等先進冷卻系統，以實現最佳冷卻性能。AMAT Centura DxZ設計為可靠高效的生產級蝕刻/RIE反應堆。先進的氣體控制技術、高工藝溫度均勻性、可容納多達32種基板和射頻阻抗匹配網絡,確保最大蝕刻速度、精度和產品質量。DxZ的高吞吐量、優化和性能使其成為高價值和高產率應用集成電路生產的理想選擇。