二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9174370 待售

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ID: 9174370
CVD TEOS System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應器是一種用於制造半導體材料的低溫沈積設備。AMAT, Inc.的模型Centura系列分子束外延(MBE)工具被設計為提供高產率、自動處理大量半導體基板。AMAT Centura DxZ專為高效、自動處理而設計,能夠支持多種材料。它使用多達四個物料來源儲層,包括石英和矽,其直徑可達250毫米。它包括一個具有一系列嵌入式軟件的可編程電子系統,用於監測和控制溫度和壓力等過程參數。多區基板加熱器陣列提供了可重復的溫度曲線,而壓電控制的氣體射流允許精確控制反應性氣體流動。該裝置還具有紅外光源,用於監測加工過程中基板的溫度。APPLIED MATERIALS Centura DxZ旨在滿足高精度、均勻且可重復外延處理的要求。其主要特點包括高精度、自動化的過程控制,以及低真空環境。其強大的設計還有助於防止汙染和最大限度地提高吞吐量。Centura DxZ擁有先進的軟件和嵌入式算法,能夠在一定範圍內保持溫度和壓力。機器包括完整的刀具監控功能,確保基板得到正確處理,並且所有工藝參數都保持在規範範圍內。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是MBE沈積的可靠和生產性工具。其多種多樣的配置和適當的調節環境使其成為先進半導體材料開發者的熱門選擇。它的一致性、效率和可重復性為實現最高質量的沈積提供了一個成本效益高的解決方案。
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