二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9183987 待售

ID: 9183987
晶圓大小: 8"
Chamber, 8" Gas box missing.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一種高性能、多用途的設備,旨在滿足現代半導體技術的需求。它為先進的設備制造和處理技術提供了最高水平的性能和可靠性。該系統是建立在一個先進的平臺,這使得更好的過程控制和更高的精度。它可以容納大型基板,並具有多種工具組,包括離子植入、濕蝕刻、幹蝕刻和沈積。該單元還提供了一個高級用戶界面,提供反饋,幫助工程師和研究人員優化性能。AMAT Centura DxZ反應堆有多個獨立的工藝室,通過模塊化軌道鏈接。這樣可以並行執行流程,從而減少周期時間並提高吞吐量。機器的可配置組件(如可選擇的氣流)啟用了可定制的過程和配方。該工具有一個板載射頻/直流發電機,可產生高達五千瓦的功率,用於基板。這種高功率功能支持高級材料和設備處理。DxZ還包括一個主動溫度控制資產,用於調節腔室溫度,以確保最佳工藝性能的最佳條件。該模型還采用板載真空設備,調節工藝室的壓力。這有助於確保清潔和低缺陷的生產環境,同時還能提供出色的真空均勻性。真空系統還有一個板載離子束,可用於清潔加工周期之間的腔室內部。該裝置還具有高性能氣體控制機,用於精確控制和監測加工氣體的流動。這有助於提高流程準確性和吞吐量。該工具還可以與一系列監控和診斷工具集成在一起,這些工具提供有關流程的實時反饋。總之,應用材料應用材料Centura DxZ反應堆是一種可靠可靠的多用途設備,適用於先進的設備制造和加工技術。它提供無與倫比的性能、準確性和可靠性,以實現卓越的生產成果和吞吐量。
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