二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9184346
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
CVD System, 8"
Mainframe information: Phase 2
Robot type: HP
LoadLock type: NBLL
SMIF: X
Process chambers:
Chamber A
Chamber B
Chamber C
Chamber D
Cooldown chamber:
Chamber E: MSCD
Orient chamber:
Chamber F: X
(4) Process chambers
Process: CVD
Application: DXZ
System controller: UPS
Generator:
Chamber A: RFG 2000-2V
Chamber B: RFG 2000-2V
Chamber C: RFG 2000-2V
Chamber D: RFG 2000-2V
Bottom module:
Chamber A: 0090-01805
Chamber B: 0090-01805
Chamber C: 0090-01805
Chamber D: 0090-01805
Heater lift:
Chamber A: 0010-38426
Chamber B: 0010-38426
Chamber C: 0010-38426
Chamber D: 0010-38426
Baratron: Model Torr
Chamber A 626A11TBE 10Torr
Chamber B 626A11TBE 10Torr
Chamber C 626A11TBE 10Torr
Chamber D 626A11TBE 10Torr
Baratron: Model Torr
Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr
Gas control : SERIFLEX TYPE
Gas panel:
Chamber A:
LINE1 SiH4 500sccm
UNE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 5SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Chamber B:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber C:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber D:
LINE1 N20 3SLM
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Packing list:
Mainframe
AC Remote rack
Generator rack
(2) Part boxes
Power: 208VAC
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一種經過適當設計和工程設計的反應堆,具有先進的材料工程和工藝能力。該反應堆可用於沈積、蝕刻和熱退火等多種工藝,並經過專門設計,以滿足各種應用的要求。AMAT Centura DxZ反應堆具有高效穩定的設計,能夠實現高工藝吞吐量和可重復性。這是通過高穩定性和精確度、高質量和耐用組件以及根據客戶需求量身定制的堅固、靈活的腔室設計相結合而實現的。這使得APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應堆成為許多行業在需要高工藝結果時的首選。Centura DxZ反應堆裝有先進的真空室,可用於高速率工藝的高重復性和低溫烘烤。該腔室可配置用於各種特定用途,從塗層和掩蔽到蝕刻或沈積。這種種類繁多的工藝允許更廣泛的底物成分和溫度,並使反應堆能夠用於多種應用,從而消除了對多個反應堆的需求。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ還附帶了與反應堆配合工作的自動化自適應控制系統,以確保最大精度、重復性和吞吐量,同時減少用戶幹預。該系統還有助於減少報廢和縮短周期時間,同時提供診斷和過程控制工具,實現遠程性能優化和周期時間優化。晶片在AMAT Centura DxZ上的定位也很容易,這要歸功於自動定心和夾緊機構,它可以在沒有人工輔助的情況下進行精確的放置和對準。此外,反應堆還配備了溫度均勻性傳感器,在過程中提供實時溫度控制,確保整個過程中溫度均勻。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura DxZ反應堆的設計具有靈活性和可靠性,能夠滿足各種應用程序要求苛刻的工藝要求。反應堆是精確控制、高效和耐用的,有助於顯著減少循環時間和增加產量,同時減少對多反應堆和人工幹預的需求。
還沒有評論