二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9193775 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor設計用於高級材料的高性能過程化學和物理氣相沈積（PVD）。DxZ是一種全自動的高精度工藝工具，專為快速可靠地生產先進的薄膜結構而設計。它具有高度的正常運行時間,符合最苛刻的環境、操作和工藝條件。DxZ反應堆配備了先進的MFC質量流控制器，能夠精確的過程控制，並具有獨特的「逐區」控制設備。這一特性有助於控制反應物氣體濃度在反應堆體積中的擴散，降低過程漂移的風險。此外，DxZ有一個大容量的多區氣體系統，有助於提高過程的重復性和降低漂移的風險。工藝包覆等離子體源（PCPS）以高效率和過程均勻性向加工室提供均勻的ICP（感應耦合等離子體）輸入。PCPS使用智能電源運行,以確保脈沖峰值穩定性和平滑的等離子體輪廓,從而優化過程穩定性和可重復性。DxZ反應堆專為在潔凈室環境中強健運行而設計，並配備了最新的符合潔凈室要求的自動化和軟件。全自動負載鎖裝置是為最小的過程中斷而設計的，並配有燈照明的內部，以減少汙染。DxZ具有高級加載歷史記錄功能,可以跟蹤和記錄準確的過程信息,從而實現可靠的可追蹤性和過程歷史記錄。一個專門的環境控制機為可靠、可重復和均勻的層沈積提供了一個符合清潔室要求的氣氛。AMAT Centura DxZ具有廣泛的先進工藝能力，包括晶圓鍵、單向濺射沈積、合金沈積、ALD（原子層沈積）、IPVD（內等離子體氣相沈積）。該工具能夠處理各種特殊材料,非常適合制造復雜的高性能設備。此外,DxZ具有靈活的操作模式,允許用戶自定義其流程參數以獲得最佳性能結果。APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor設計用於對多種先進材料進行高性能、高效的處理。它配備了全面的安全和過程控制工具，以確保可靠的過程性能。DxZ是處理高度專業化材料的強大工具,是高級制造應用程序的理想選擇。